| 摘要 |
<p>본 발명은 엠아이엠 캐패시터 어레이 제조 방법에 관한 것으로써, 특히, RF(Radio Frequency)/MS(Mixed Signal) 소자에 적용되어 엠아이엠 캐패시터의 단위면적 대비 캐패시턴스 값을 향상시켜 전체적인 면적을 감소시킬 수 있도록 하는 기술을 개시한다. 이를 위해, 본 발명은 상부전극의 상부에 절연막을 증착하고, 절연막의 상부에 상부전극과 동일한 재질의 금속 배선층을 형성한 이후, 절연막과 금속 배선층을 평탄화하여 제거함으로써 상부전극의 배치 간격 사이에 형성된 절연막을 이용하여 추가적인 상부전극을 형성할 수 있도록 한다.</p> |
