发明名称 Aligner
摘要 <p>또한, UV LED module의 형태를 bar 내지는 면 형태로 제작할 경우 대면적에 대한 노광도 효율적으로 수행할 수 있는 장치 구성이 가능하며, UV LED module에서 사용하는 UV LED의 종류를 변경할 경우(UV 파장의 종류를 변경할 경우) 여러 종류의 UV 파장을 이용할 수 있어 형성시킬 수 있는 패턴의 구현 가능한 선폭을 쉽게 조절 가능하다는 장점이 있다.</p>
申请公布号 KR101097243(B1) 申请公布日期 2011.12.22
申请号 KR20090122754 申请日期 2009.12.10
申请人 发明人
分类号 G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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