Method of manufacturing a Fe-polymer compound, Polishing method and apparatus of conductive and high hardness material using Fe-polymer manufactured thereby

摘要

본 발명은 자성체인 철 입자와 탄성체인 폴리머 입자를 분산 및 혼합하고 일정 형태로 성형한 후 파쇄하여 탄성 연마제인 철-폴리머 복합체를 생성하고, 이 철-폴리머 복합체와 자성체인 철 입자 및 전해액이 포함된 기능성 유체와 가공 대상물인 고경도 전도성 재료 사이에 전기장을 걸어 전기분해에 의한 전기화학적 산화작용에 의해 재료의 표면을 산화 및 유화시키면서 탄성 연마제인 철-폴리머 복합체를 이용하여 재료의 표면을 연마 가공함으로써 고경도 전도성 재료의 표면을 스크래치(scratch) 없는 고정도의 표면으로 연마 가공할 수 있도록 하는 철-폴리머 복합체 제조방법 및 이 제조방법에 의해 제조된 철-폴리머 복합체를 이용한 고경도 전도성 재료의 표면 연마방법 및 장치에 관한 것이다.