半导体洗净机的晶圆破片侦测装置

主权项

一种半导体洗净机的晶圆破片侦测装置，供装设于一半导体洗净机上，该半导体洗净机具有一浸泡槽与升降进出该浸泡槽的一晶圆置放架，该晶圆置放架供架设至少一晶圆，该晶圆破片侦测装置包含：至少一障碍物感测元件，该至少一障碍物感测元件设置于该晶圆置放架的至少一侧边，且该障碍物感测元件具有一感应范围与一感应方向，该感应范围涵盖该晶圆置放架的长度，且该感应方向平行该晶圆置放架。