利用晶圆传送盒之晶圆清洁装置

主权项

一种晶圆清洁装置，包含：一晶圆传送盒，用以置放复数个晶圆；以及一清洁装置，用以在该晶圆传送盒中产生气体风道，以清洁该些晶圆；其中，该清洁装置提供一正压力之气体至该晶圆传送盒，且在一排气端提供负压导引以抽取晶圆传送盒内之一洗净气体，并形成稳定之气体风道。