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一种正型光阻组成物，其为含有经由酸之作用而可增大硷可溶性之树脂成份(A)，与经由曝光而产生酸之酸产生剂成份(B)之正型光阻组成物，其特征为，前述(A)成份为含有，结构单位(a1)：含有由下述式(a1-0-1)所示结构单位，与式(a1-0-2)所示结构单位所成群中所选出之1个以上之结构单位@sIMGTIF!d10045.TIF@eIMG!(式中，R为氢原子、卤素原子、碳数1至5之烷基或卤化之碳数1至5之烷基；X1为具单环或多环式基之酸解离性溶解抑制基)@sIMGTIF!d10046.TIF@eIMG!(式中，R为氢原子、卤素原子、碳数1至5之烷基或卤化之碳数1至5之烷基；X2为具单环或多环式基之酸解离性溶解抑制基；Y2为伸烷基或脂肪族环式基)、结构单位(a2)：含有由γ-丁内酯去除1个氢原子所得之基、具有内酯环之二环链烷去除1个氢原子所得之基、三环链烷去除1个氢原子所得之基及四环链烷去除1个氢原子所得之基所成群中所选出之1个以上之结构单位，结构单位(a3)：含有由具羟基之二环链烷、三环链烷及四环链烷去除1个氢原子所得之基所成群中所选出之1个以上之丙烯酸酯所衍生之结构单位，及结构单位(a4)：下述式(a4-1)之结构单位(a4)，@sIMGTIF!d10047.TIF@eIMG! |
