通过采用分割层悬臂沉积方案来制造基于MEMS的悬臂式开关

摘要

这里所讨论的实施方式一般来讲公开了可用于克服在用于薄膜MEMS悬臂式开关的耐火材料中形成的梯度应力的新颖替代方法。使用这里所述的“分割层”悬臂制造方法使得能够制造薄膜MEMS悬臂式开关，在保持最终制造的悬臂式开关的着落部分的机械刚性的同时，获得低操作电压设备。

主权项

一种微机电设备制造方法，所述方法包括：在衬底上沉积第一导电层；对所述第一导电层构图，以暴露出所述衬底的一或更多个部分并且形成第一电触点和接触电极；在所述第一电触点、所述接触电极，以及所述衬底的一或更多个暴露部分上沉积第一牺牲层；对所述第一牺牲层构图以暴露出所述第一电触点；在所述第一牺牲层上方并且与所述第一电触点相接触地沉积第二导电层；在所述第二导电层上沉积绝缘层；对所述绝缘层构图以暴露出所述第二导电层的部分，以使得所述绝缘层的剩余部分与所述第二导电层接触所述第一电触点的位置横向间隔开；在所述第二导电层以及所述绝缘层的剩余部分上沉积加强层；对所述加强层和所述第二导电层进行构图以暴露出所述绝缘层的剩余部分；除去所述绝缘层的至少一些剩余部分；以及除去所述第一牺牲层。