具有低驱动电压的射频微机械系统电容式并联开关

摘要

一种具有低驱动电压的射频微机械系统电容式并联开关，采用悬臂梁结构，在介质基板（1）的上面为共面波导传输线（2），位于中间的共面波导传输线（2）上是介质层（3），悬臂梁（4）的一端与位于一侧的共面波导传输线的地线（21）连接，将悬臂梁（4）的悬臂端用导电胶粘在传输线的地线（21）上，梁的悬臂端与传输线粘在一起，以此减小悬臂梁和信号线的间距，从而减小了开关的驱动电压；这种结构还可以减小工艺中的温度效应对梁的残余应力的影响，提高开关的可靠性。

主权项

一种具有低驱动电压的射频微机械系统电容式并联开关，其特征是采用悬臂梁结构，在介质基板（1）的上面并排设有三根共面波导传输线，位于中间的第二共面波导传输线（22）上设有介质层（3），悬臂梁（4）的一端与位于介质基板（1）的上面一侧的第一共面波导传输线（21）连接，悬臂梁（4）的另一端悬空于介质基板（1）的上面另一侧的第三共面波导传输线（23）的上方，通过控制悬臂梁（4）的厚度，使得悬臂梁（4）的悬臂端释放后粘附到第二共面波导传输线（22）上。