发明名称
摘要
申请公布号 JP4843927(B2) 申请公布日期 2011.12.21
申请号 JP20040298955 申请日期 2004.10.13
申请人 发明人
分类号 H01L27/04;H01L21/338;H01L21/822;H01L21/8232;H01L27/06;H01L29/812 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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