一种非金属真空腔室结构

摘要

本发明公开了一种非金属真空腔室结构，属于等离子体技术领域。所述非金属真空腔室结构包括进气口、上盖板、腔室筒体、射频线圈、下盖板和排气口；进气口设置于上盖板的中心处，排气口设置于下盖板的中心处，上盖板、下盖板与腔室筒体密封连接，射频线圈设置于腔室筒体的两侧。本发明的非金属真空腔室由非金属材料制成，结构简单，密封性好，易于安装，维护方便，提高了真空腔室的真空抽速和工艺条件的可靠性。

主权项

一种非金属真空腔室结构，其特征在于，包括进气口、上盖板、腔室筒体、射频线圈、下盖板和排气口；所述进气口设置于所述上盖板的中心处，所述排气口设置于所述下盖板的中心处，所述上盖板、下盖板与腔室筒体密封连接，所述射频线圈设置于所述腔室筒体的两侧。