| 发明名称 | 感光性有机膜用显影液组合物 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种感光性有机膜(主要是光致抗蚀剂)用显影液，所述显影液不腐蚀Al的性能优异，并且显影性也良好。本发明的感光性有机膜(主要是光致抗蚀剂)用显影液组合物含有0.5重量％～5重量％氢氧化四烷基铵、10重量％～40重量％山梨糖醇和木糖醇等糖醇、3重量％～19重量％亚砜类、二醇醚类、酰胺类等水溶性有机溶剂以及余量的水，所述组合物对感光性有机膜(主要是光致抗蚀剂)的曝光部的溶解速度与对感光性有机膜(主要是光致抗蚀剂)的未曝光部的溶解速度之比为50以上。 | ||
| 申请公布号 | CN101395537B | 申请公布日期 | 2011.12.21 |
| 申请号 | CN200780007192.7 | 申请日期 | 2007.02.27 |
| 申请人 | 长瀬化成株式会社;NLT科技株式会社 | 发明人 | 安江秀国;西岛佳孝;城户秀作 |
| 分类号 | G03F7/32(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人 | 丁香兰 |
| 主权项 | 一种感光性有机膜用显影液组合物，该组合物含有0.5重量％～5重量％A)氢氧化四烷基铵、10重量％～40重量％B)碳原子数为5以上的糖醇、3重量％～19重量％C)选自亚砜类、二醇醚类和酰胺类之中的至少一种水溶性有机溶剂以及余量的D)水，所述组合物对感光性有机膜的曝光部的溶解速度与对感光性有机膜的未曝光部的溶解速度之比为50以上。 | ||
| 地址 | 日本大阪 | ||