表面质量评价中的原位测量方法

摘要

本发明公开了表面质量评价中的原位测量方法，首先，使用激光雕刻的方法，在被测工件表面上刻出一道沟槽，此沟槽作为测量标靶区，测量标靶区本身不参与工作过程；其次，通过测量标靶区特征点在非接触式三维微观形貌仪扫描区域内的坐标值来进行定位，并进行表面质量评价。本发明对表面微观形貌进行原位测量，揭示实际工作表面的规律，准确的评价表面在其服役周期中所具有的物理演化过程的渐进性，为表面质量评价提供新视角和新方法。

主权项

表面质量评价中的原位测量方法，在被测工件表面设定一个测量标靶区，对应表面在其服役周期中所具有的物理演化过程的渐进性，获得不同时间点的实际工作表面，通过测量标靶区特征点的识别，得到不同时间点的实际工作表面在同一位置的精确测量，揭示渐进性过程中表面的精度保持、衰减直至失效的规律，这些规律通过表面质量评价参数体系表达出来；其特征在于原位测量方法的步骤是：首先，使用激光雕刻的方法，在被测工件表面上刻出一道沟槽，此沟槽作为测量标靶区，测量标靶区本身不参与工作过程；其次，通过测量标靶区特征点在非接触式三维微观形貌仪扫描区域内的坐标值来进行定位，并进行表面质量评价。