| 发明名称 | 盖体保持夹具 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种盖体保持夹具，其能够稳定地保持处理室的盖体并使其反转。该盖体保持夹具(1)将设置于处理室(81)的上部的盖体(83)以从该盖体(83)卸下的状态进行保持，其中，保持部(2)保持盖体(83)的周缘部，基体(31、34、53)为了使保持于上述保持部(2)的盖体(83)反转而以围绕水平的旋转轴(52)旋转自如的方式支承该保持部(2)。固定机构(4)使固定部件(44)在相对上述保持部(2)固定盖体(83)的固定位置与开放该盖体(83)的固定的开放位置之间移动。 | ||
| 申请公布号 | CN102290326A | 申请公布日期 | 2011.12.21 |
| 申请号 | CN201110153260.9 | 申请日期 | 2011.05.31 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 田中善嗣;羽鸟一成;笠原稔大 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 一种盖体保持夹具，其将设置在处理作为被处理体的基板的处理室的盖体，以从该处理室卸下的状态进行保持，该盖体保持夹具的特征在于，包括：用于保持所述盖体的周缘部的保持部；为了使保持于所述保持部的所述盖体反转而将保持部以围绕水平的旋转轴旋转自如的方式支承的基体；和设置于所述保持部，具有将所述盖体固定于所述保持部的固定部件的固定机构，所述固定部件在固定所述盖体的固定位置与开放所述盖体的固定的开放位置之间移动。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||