| 发明名称 |
基板运送装置 |
| 摘要 |
本发明公开一种基板运送装置，其包括一底座、一基板承载机构和一主体结构，该基板承载机构包括一机械手臂和一夹具，该夹具与该主体结构相连并且固持该机械手臂，该机械手臂由上下两组长条形构件构成，该底座支撑该主体结构。其中，该机械手臂的上一组长条形构件之间的距离不同于下一组长条形构件之间的距离。该基板运送装置可运送多种不同尺寸的基板。 |
| 申请公布号 |
CN1868837B |
申请公布日期 |
2011.12.21 |
| 申请号 |
CN200510034984.6 |
申请日期 |
2005.05.29 |
| 申请人 |
群康科技（深圳）有限公司;奇美电子股份有限公司 |
发明人 |
周子玮 |
| 分类号 |
B65G49/05(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I |
主分类号 |
B65G49/05(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
一种基板运送装置，其包括一主体结构、一基板承载机构和一底座，该基板承载机构包括一机械手臂和一夹具，该夹具与该主体结构相连并且固持该机械手臂，该机械手臂由上下两组长条形构件构成，该底座支撑该主体结构，其特征在于：该机械手臂的上一组长条形构件之间的距离不同于下一组长条形构件之间的距离。 |
| 地址 |
518109 广东省深圳市宝安区龙华镇富士康科技工业园E区4栋1层 |
