| 发明名称 | LCD制造用正型光致抗蚀剂组合物以及抗蚀图形的形成方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种LCD制造用的抗蚀剂材料，该抗蚀剂材料是LCD制造用正型光致抗蚀剂组合物，其特征在于，包括(A)碱可溶性树脂，(B)聚苯乙烯换算质均分子量为300－1300的低分子量酚醛清漆树脂和萘醌二叠氮磺酸化合物的、平均酯化率为30－90％的酯化反应生成物，(C)分子量为1000以下的含有酚性羟基的化合物，(D)有机溶剂。根据本发明的抗蚀剂组合物，即使在低NA条件下，也能够以高的析像度形成抗蚀图形，优选线性良好抗蚀剂组合物。 | ||
| 申请公布号 | CN1519648A | 申请公布日期 | 2004.08.11 |
| 申请号 | CN200410002210.0 | 申请日期 | 2004.01.15 |
| 申请人 | 东京应化工业株式会社 | 发明人 | 大内康秀;中山一彦;丸山健治;土井宏介 |
| 分类号 | G03F7/022 | 主分类号 | G03F7/022 |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 李香兰 |
| 主权项 | 1.一种LCD制造用正型光致抗蚀剂组合物，其特征在于，包括(A)碱可溶性树脂，(B)聚苯乙烯换算质均分子量为300-1300的低分子量酚醛清漆树脂和萘醌二叠氮磺酸化合物的、平均酯化率为30-90％的酯化反应生成物， (C)分子量为1000以下的含有酚性羟基的化合物，(D)有机溶剂。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||