| 摘要 |
1. Способ обработки электронно-полевых катодов, включающий сканирование поверхности электронно-полевого катода, с нанесенным электронно-полевым эмиттером, металлическим электродом, на который подают положительный потенциал относительно катода, отличающийся тем, что в качестве электронно-полевого эмиттера используют углеродные нанотрубы, в качестве сканирующего электрода используют металлическую нить, сканирование ведут при перемещении электронно-полевого катода и/или электрода, при этом на электрод подают постоянный или импульсный потенциал с последующим прожиганием заданной структуры на поверхности эмиттера. ! 2. Способ обработки электронно-полевых катодов по п.1, отличающийся тем, что электронно-полевой катод перемещают по горизонтали, а электрод по вертикали. ! 3. Способ обработки электронно-полевых катодов по п.1, отличающийся тем, что скорость перемещения электронно-полевого катода составляет 0,5-10,0 мм/мин. ! 4. Способ обработки электронно-полевых катодов по п.1, отличающийся тем, что в качестве металлической нити используют тугоплавкие металлы. ! 5. Способ обработки электронно-полевых катодов по п.1, отличающийся тем, что металлическую нить предварительно нагревают до 500°-1000°C. ! 6. Способ обработки электронно-полевых катодов по п.1, отличающийся тем, что постоянный потенциал относительно катода составляет 300-400 В. ! 7. Способ обработки электронно-полевых катодов по п.1, отличающийся тем, что импульсный потенциал подают с частотой 1 кГц-10 кГц. |
