Plasma doping method and device used to the same,申请号KR20090040952-传众专利搜索

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发明名称	Plasma doping method and device used to the same
摘要
申请公布号	KR101096490(B1)	申请公布日期	2011.12.20
申请号	KR20090040952	申请日期	2009.05.11
申请人		发明人
分类号	H01L21/265	主分类号	H01L21/265
代理机构		代理人
主权项
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