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经营范围
发明名称
APPARATUS FOR TREATING SUBSTRATES
摘要
申请公布号
KR101095107(B1)
申请公布日期
2011.12.16
申请号
KR20100034698
申请日期
2010.04.15
申请人
发明人
分类号
H01L21/302;H01L21/304;H01L21/306
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
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