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Eine Erfassungsvorrichtung für eine physikalische Größe enthält eine Isolierschicht (200), eine Halbleiterschicht (310, 320) auf der Isolierschicht und erste und zweite Elektroden (301, 302) in der Halbleiterschicht. Jede Elektrode weist einen Wandteil (340, 350) auf, von denen einer zwei Membranen (341, 342, 351, 352) und einen Deckelteil (321, 322) enthält. Die Membranen liegen einander gegenüber, um einen hohlen Zylinder mit einer Öffnung, die durch den Deckelteil bedeckt wird, bereitzustellen. Eine Membran liegt dem anderen Wandteil oder einer Membran in dem anderen Wandteil gegenüber. Ein Abstand zwischen der einen Membran und dem anderen Wandteil oder der einen Membran in dem anderen Wandteil wird entsprechend einer Druckdifferenz zwischen einem Bezugsdruck in dem hohlen Zylinder und einem Druck einer Außenseite geändert, wenn eine physikalische Größe auf die Membranen wirkt. Die physikalische Größe wird durch eine Kapazität zwischen den ersten und zweiten Elektroden erfasst
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