| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR IONENPLASMAAPPLIKATION VON FILMBESCHICHTUNGEN UND VORRICHTUNG ZUR DURCHFÜHRUNG DES VERFAHRENS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT537278(T) |
申请公布日期 |
2011.12.15 |
| 申请号 |
AT20060847390T |
申请日期 |
2006.07.26 |
| 申请人 |
NACO TECHNOLOGIES, SIA |
发明人 |
SPIVAKOV, DMITRY DAVIDOVICH;MITIN, VALERY SEMENOVICH |
| 分类号 |
C23C14/35;C23C14/56;C23C28/00 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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