湿式过滤装置

摘要

本实用新型公开了一种湿式过滤装置，包括壳体，所述壳体包括端盖和顶部具有开口的壳身，所述端盖设置在所述壳身的开口上使壳体内成为一封闭空间，在所述壳体上设有用于导入废气的进气口和导出过滤后气体的出气口，所述壳体上设有用于向壳体内注入机油的注油孔，所述注油孔与壳体内的封闭空间相通，所述壳体上还设有用于排出混浊机油的排污口，废气由进气口导入壳体内，通过机油吸附净化后从出气口导出。本实用新型采用吸附能力更强的机油作为吸附媒体，可充分吸收刻蚀后废气中所含的粉尘和氟离子等附产物，减少等离子体刻蚀机真空泵的损耗，从而延长了真空泵的使用寿命，提高真空泵工作效率；本实用新型的结构简单，维护成本较低。

主权项

一种湿式过滤装置，包括壳体(1)，所述壳体(1)包括端盖(11)和顶部具有开口的壳身(12)，所述端盖(11)设置在所述壳身(12)的开口上使壳体(1)内成为一封闭空间，在所述壳体(1)上设有用于导入废气的进气口(13)和导出过滤后气体的出气口(14)，其特征在于：所述壳体(1)上设有用于向壳体(1)内注入机油的注油孔(15)，所述注油孔(15)与壳体(1)内的封闭空间相通，所述壳体(1)上还设有用于排出混浊机油的排污口(16)，废气由进气口(13)导入壳体(1)内，通过机油吸附净化后从出气口(14)导出。