具有管线压力测量的压差传感器

摘要

一种用于感测过程流体的压力的压力传感器组件，包括传感器本体，其具有形成在其中的空腔以及通向空腔的第一开口和第二开口，第一开口和第二开口构造为施加第一压力和第二压力。位于空腔中的隔膜将第一开口与第二开口隔开，并构造为响应于第一压力和第二压力之间的压力差变形。提供基于电容的变形传感器，其构造为响应于施加至传感器本体的管线压力感测传感器本体的变形。

主权项

一种用于测量过程流体的压力的压力传感器组件，包括：传感器本体，具有形成在其中的空腔以及通向空腔的第一开口和第二开口，第一开口和第二开口构造为施加第一压力和第二压力；位于空腔中的隔膜，用于响应于压力差将第一开口与第二开口隔开；第一电极，安装在传感器本体的外面，设置为与传感器本体形成第一电容，其中第一电容响应于由传感器本体的变形引起的过程流体的管线压力而变化；和测量电路，连接至所述电极，设置为基于第一电容测量管线压力。