光致弯曲膜驱动型微泵

摘要

本发明属于微机械技术领域，具体为一种光致弯曲膜驱动型微泵，该微泵的主结构由泵膜、泵腔、入口和出口等组成。该微泵的泵膜由光致弯曲形变材料层和柔性高分子材料层局部复合组成，通过周期性地照射紫外光和可见光，使泵膜发生周期性的凸起和回复。具有结构和工艺简单，功耗小，易操控，寿命长的特点。

主权项

一种光致弯曲膜驱动型微泵，其特征在于包含泵膜、泵腔和出入口；其中，泵膜由两层构成，上层材料采用光致弯曲形变材料，下层材料采用柔性高分子材料，上层与下层之间通过粘结剂粘结，所述泵膜上层的面积小于下层，为局部复合；泵膜光致弯曲变形引起腔体压力变化从而将流体从输入管道转移到输出管道；其中，所述光致弯曲形变材料，其是在紫外光照射下产生弯曲形变，在可见光作用下形变恢复。