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发明名称 HIGH-FREQUENCY POWER SUPPLY STRUCTURE AND PLASMA CVD DEVICE USING THE SAME
摘要
申请公布号 EP1484788(B1) 申请公布日期 2011.12.14
申请号 EP20030708585 申请日期 2003.03.13
申请人 MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD. 发明人 MASHIMA, H.;KAWAMURA, K.;TAKANO, A.;TAKEUCHI, Y.;SIGEMIZU, T.;AOI, T.
分类号 H01L21/205;C23C16/50;C23C16/505;C23C16/509;C23F4/00;H01J37/32;H05H1/46 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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