| 发明名称 |
金属互联线厚度和宽度的测试结构和测试方法 |
| 摘要 |
本发明提供了一种测量金属互连线厚度和宽度的测试结构和方法，该测试结构包括栅栏型和蜿蜒状的金属互连线结构，通过测量栅栏型和蜿蜒状结构的电阻来提取金属互连线的等效厚度和宽度。 |
| 申请公布号 |
CN102278936A |
申请公布日期 |
2011.12.14 |
| 申请号 |
CN201110080647.6 |
申请日期 |
2011.03.30 |
| 申请人 |
上海北京大学微电子研究院 |
发明人 |
魏泰;秦晓静;程玉华 |
| 分类号 |
G01B7/02(2006.01)I;G01B7/06(2006.01)I |
主分类号 |
G01B7/02(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
一种金属互连线厚度和宽度的测试结构，其特征在于，包含栅栏状金属互连线结构(11)、其他互连线部分(12)、(13)和(14)、金属互连线测试端(15)、(16)和(17)。可选的，其他互连线部分(12)、(13)、(14)可以有一个或多个采用蜿蜒状互连线结构。 |
| 地址 |
201203 上海市浦东新区张江高科技园区盛夏路608号 |
