一种硅片转载器

摘要

本发明公开了一种硅片转载器，其包括：底壁、安装于底壁两端的端壁及安装于底壁两侧的侧壁，上述五壁围绕形成收容硅片的收容空间，所述底壁向外凸设有数个第一凸部，所述端壁与侧壁的下方设有与上述第一凸部相卡扣的数个第一凹槽，所述端壁的两端向外凸设有数个第二凸部，所述侧壁的两端设有与第二凸部相卡扣的数个第二凹槽，所述端壁的设有轴杆，所述侧壁设有操作槽，该种硅片转载器不仅可防止金属污染，而且可防止硅片破碎。

主权项

一种硅片转载器，其特征在于：所述硅片转载器包括：底壁、安装于底壁两端的端壁及安装于底壁两侧的侧壁，上述五壁围绕形成收容硅片的收容空间，所述底壁向外凸设有数个第一凸部，所述端壁与侧壁的下方设有与上述第一凸部相卡扣的数个第一凹槽，所述端壁的两端向外凸设有数个第二凸部，所述侧壁的两端设有与第二凸部相卡扣的数个第二凹槽，所述端壁的中央设有轴杆，所述侧壁设有操作槽。