发明名称 FORMATION OF ABRUPT JUNCTIONS IN DEVICES BY USING SILICIDE GROWTH DOPANT SNOWPLOW EFFECT
摘要
申请公布号 KR101093125(B1) 申请公布日期 2011.12.13
申请号 KR20067010943 申请日期 2004.10.26
申请人 发明人
分类号 H01L29/78;H01L21/24;H01L21/265;H01L21/285;H01L21/336;H01L29/417 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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