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发明名称
Method of fabricating a zinc oxide based nanowire using a buffer layer in a high temperature process and method of fabricating a electronic device using the same
摘要
申请公布号
KR101091598(B1)
申请公布日期
2011.12.13
申请号
KR20090048891
申请日期
2009.06.03
申请人
发明人
分类号
B82B3/00;G09F9/00;H01J1/30;H01L21/205
主分类号
B82B3/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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