| 摘要 |
<p>리소그래피 장치에 대한 위치설정 시스템이 개시되며, 이는 프레임에 실질적으로 평행한 적어도 1 이상의 방향으로 리소그래피 장치의 이동가능한 대상물을 위치시키는 제어 시스템- 상기 제어 시스템은 이동가능한 대상물의 위치를 측정하는 측정 시스템, 이동가능한 대상물에 힘을 가하는 액추에이터 및 측정 시스템의 출력에 기초하여 액추에이터에 구동 신호를 제공하는 제어기를 포함함 -; 및 제어 시스템의 고장을 결정하여, 고장이 결정되는 경우 제어 시스템을 사용불가하게 하고 프레임에 대향하여 이동가능한 대상물을 당기도록 구성된 비상 제동 시스템을 포함한다.</p> |
