| 摘要 |
<p>본 발명은 태양전지 제조용 씨비디(CBD) 장치에 관한 것으로서, 기판 반송수단, 약액저장조, 약액을 배출하는 샤워헤드, 및 기판로딩부로 구성하되, 상기 샤워헤드는 약액을 교반하며 배출할 수 있게 구비하고, 상기 기판로딩부에는 상기 약액을 외부로 배출하는 배출관을 구비함으로써, 인라인 형태의 약액 투입용 샤워헤드 방식을 채택하여 적정량의 약액 공급은 물론 공정 효율이 향상될 수 있을 뿐 아니라, 샤워헤드의 교반작용을 통해 막힘 현상이나 응고 현상이 방지될 수 있게 되고, 또한 기판의 세정 및 건조가 가능한 후처리수단을 연결 배치함으로써, 신속한 세정과 약액의 외부 누출을 사전에 방지할 수 있는 인라인 방식의 태양전지 제조용 씨비디 장치에 관 한 것이다.</p> |
