发明名称 基板检查用治具
摘要
申请公布号 TWI354108 申请公布日期 2011.12.11
申请号 TW097113668 申请日期 2008.04.15
申请人 日本電產麗德股份有限公司 日本 发明人 加藤穰;宫武忠数
分类号 G01R31/26;G01R1/06 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 一种基板检查用治具,系为用来检查被检查基板的电性特性,得以在基板检查装置本体与设置在该被检查基板之配线图案的复数个基板被检查点之间的电性导通的基板检查用治具,其特征为:前述基板检查用治具系具有:在两端具有达到电性导通的端部,一方的端部具有被压接在前述基板被检查点之一的导电性,并且除了该端部以外,在周缘具有绝缘部的棒状的复数个接触子、和具有保持前述复数个接触子,并且具有将该接触子之一方的端部引导到前述检查点的第一导孔的第一导板、以及具有将该接触子之他方的端部引导到前述基板检查装置之电极部的第二导孔的第二导板的接触子保持体、和具备与前述接触子之各个接触子的他方的端部相对向而配置,并且连接至前述基板检查装置的连接电极部的连接电极体,前述第一导孔是形成具有小于前述接触子之绝缘部之孔径的孔径,前述第二导孔是形成具有大于前述接触子的绝缘部之孔径的孔径,前述第一导板与前述第二导板,具有:为了能拆装前述接触子,整合与前述第一导孔对应的前述第二导孔的整合状态、和为了保持前述接触子,由前述整合状态,前述第二导板移动在第二导板的平面方向上的保持状态,连接前述接触子之前述他方的端部与前述连接电极体之际,各个前述他方的端部附近的侧周面之至少一部份,与相对向于此的前述连接电极部的一部分接触,藉此成为电性的导通状态。
地址 日本