Verfahren zum Herstellen einer Mikrostruktur oder Nanostruktur und mit Mikrostruktur oder Nanostruktur versehenes Substrat

摘要

cher Säulen (9) umfassenden Mikrostruktur oder Nanostruktur, bei dem eine Schablone (4), die eine Schar von Durchgangslöchern (5) aufweist, auf einer Seite mit einer die Durchgangslöcher (5) dort verschließenden metallischen Ausgangsschicht (6) versehen wird und bei dem, ausgehend von der dafür als Elektrode dienenden metallischen Ausgangsschicht (6), ein zumindest teilweise die Durchgangslöcher (5) füllendes und so die Säulen (9) bildendes Metall galvanisch abgeschieden wird, dadurch gekennzeichnet, dass–auf eine mit leitenden Strukturen versehene Oberfläche eines Trägers (1) an mindestens einer Kontaktstelle (2) eine metallische Kontaktschicht (3) abgeschieden wird,–eine metallische Barriereschicht (7) auf die auf die Schablone (4) aufgebrachte metallische Ausgangsschicht (6) abgeschieden wird,–ein die Schablone (4), die metallische Ausgangsschicht (6) und die metallische Barriereschicht (7) umfassender Verbund mit dem mit der metallischen Kontaktschicht (3) versehenen Träger (1) durch Verbindung der metallischen Barriereschicht (7) und der...