| 摘要 |
<p>본 발명은 기판 코터 장치의 프라이밍 기구에 관한 것으로, 슬릿 형태의 토출구를 갖는 슬릿 노즐로부터 약액이 배출되어 기판의 표면에 약액을 도포하는 기판 코터 장치에 있어서, 내부에 중공부가 형성된 실린더 형상으로 형성되어, 상기 슬릿 노즐의 예비 토출 공정에 사용되는 프라이밍 롤러와; 중앙부가 볼록하게 휜 활 형상으로 형성되고 상기 중공부 내에 설치되어, 상기 프라이밍 롤러의 처짐 변형 시에 상기 롤러의 내벽과 접촉하여 상기 프라이밍 롤러의 처짐을 억제하는 활형 보강재를; 포함하여 구성되어, 슬릿 노즐의 폭에 대응하는 폭과 직경을 갖는 프라이밍 롤러의 대형화에 따라 그 자중에 의한 처짐 변형이 발생되더라도, 그 중공부에 미리 설치된 활형 보강재에 의해 프라이밍 롤러의 중앙부의 처짐이 지지되도록 함으로써, 프라이밍 롤러의 처짐을 억제하여 슬릿 노즐의 예비 토출 공정을 신뢰성있게 일정하게 행할 수 있도록 하는 기판 코터 장치의 프라이밍 기구를 제공한다.</p> |
