| 发明名称 | 一种中、低频等离子体加工设备和电极板 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种中、低频等离子体加工设备和电极板，涉及等离子体加工技术领域，为提高工艺过程中等离子体密度，并且适用于高温工艺环境而发明。本发明公开的中、低频等离子体加工设备，包括反应腔室、在反应腔室内部相对设置的上电极板和下电极板，所述上电极板为不锈钢板，所述上电极板与所述反应腔室内等离子体接触的表面设有涂层。本发明可用于等离子体加工技术中。 | ||
| 申请公布号 | CN102271454A | 申请公布日期 | 2011.12.07 |
| 申请号 | CN201010197959.0 | 申请日期 | 2010.06.03 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 朱桂林 |
| 分类号 | H05H1/46(2006.01)I;C23C4/12(2006.01)I;C23C4/10(2006.01)I | 主分类号 | H05H1/46(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人 | 申健 |
| 主权项 | 一种中、低频等离子体加工设备，包括反应腔室、在反应腔室内部相对设置的上电极板和下电极板，其特征在于，所述上电极板为不锈钢板，所述上电极板与所述反应腔室内等离子体接触的表面设有涂层。 | ||
| 地址 | 100026 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼 | ||