漏液检测装置

摘要

本实用新型提供一种能够以适宜的时机输出检出信号的漏液检测装置。漏液检测装置10包括：第1漏液检测部，其检测被导入第1导入部25内的漏液并且生成第1检出信号；第2漏液检测部，其检测被导入第2导入部26内的漏液并且生成第2检出信号，所述第2导入部26被设置在与第1导入部25不同的位置上；输出控制部，至少基于第1以及第2检出信号中的第1检出信号，对应漏液的发生量输出漏液检出信号。本漏液检测装置能够在适宜的时机输出漏液检出信号，并且能够提高制造装置的生产效率。

主权项

检测漏液发生的漏液检测装置，其具备：导入漏液的第1导入部；第1漏液检测部，其检测被导入第1导入部内的漏液并且生成第1检出信号；其特征在于，包括第2导入部，其在与所述第1导入部不同的位置导入漏液；第2漏液检测部，其检测被导入第2导入部内的漏液并且生成第2检出信号；和输出控制部，其基于所述第1以及第2检出信号，对应所述漏液的发生量输出漏液检出信号。