| 发明名称 | 靶材背板结构 | ||
| 摘要 | 一种靶材背板结构，包括上盖板与基板，该基板造有至少一焊道及至少一冷却水道、至少一进水端及至少一出水端；该上盖板形成至少一定位孔，该至少一定位孔相对应于基板上的至少一焊道；该上盖板与该基板沿着该焊道接合固定。可改善已知制作靶材背板的制程复杂且设备成本昂贵等缺点，并可达靶材背板低变形及内部冷却水道高密封的目的。 | ||
| 申请公布号 | CN202063989U | 申请公布日期 | 2011.12.07 |
| 申请号 | CN201120123992.9 | 申请日期 | 2011.04.25 |
| 申请人 | 柏夫企业有限公司 | 发明人 | 连汉滨 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;C23C14/22(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人 | 何为;袁颖华 |
| 主权项 | 一种靶材背板结构，包括上盖板与基板，其特征在于：所述基板造有至少一焊道及至少一冷却水道、至少一进水端及至少一出水端；该上盖板形成至少一定位孔，该至少一定位孔相对应于基板上的至少一焊道；该上盖板与该基板沿着该焊道接合固定。 | ||
| 地址 | 中国台湾高雄县大寮乡内坑村内坑路9-39号 | ||