一种半导体方形基片旋转自动紧固装置

摘要

本发明涉及半导体领域，具体为一种用以在半导体生产中的方形基片旋转自动紧固装置，达到方形基片的快速安装和旋转过程中的自动紧固，保护方形基片在生产过程中的安全运行和快速的装卸。该装置设有紧固装置、圆形卡盘、方形基片，在圆形卡盘上方安装有紧固装置，方形基片安装于紧固装置上。本发明用以在半导方形基片旋转自动紧固装置，达到半导体用方形基片，例如：掩模板和LCD，清洗前后的快速装卸和旋转时候的自动紧固需求。通过专用卡盘结构达到在清洗前后的快速装卸，直接取放，无需任何多余动作和工序。在旋转方形基片的时候，专用卡盘结构会自动利用离心力原理，达到自动保护住方形基片，保证旋转时候，不会发生基片脱落和倾斜。

主权项

一种半导体方形基片旋转自动紧固装置，其特征在于：该装置设有紧固装置和圆形卡盘，在圆形卡盘上方安装有紧固装置，需要被加工的方形基片安装于紧固装置上。