一种用于真空处理系统的安装装置

摘要

本发明提供了一种用于真空处理系统的安装装置，其中，包括：一个安装板，其设置于静电夹盘和位于所述静电夹盘下方的多个组件之间，其用于支撑所述静电夹盘并为所述多个组件提供连接接口，其具有一个或多个第一连接孔；一个或多个第一装置，其位于所述安装板下方，其具有一个或多个第二连接孔，所述第一装置是由硬性的不易形变的材料制成，其至少下半部分绝缘；多个固定装置，其设置于所述安装板上表面，将所述固定装置穿过所述第一连接孔和第二连接孔可以固定所述安装板。本发明还提供了安装/卸载上述安装装置的方法。利用本发明，能方便快速地卸载/安装安装装置。

主权项

一种用于真空处理系统的安装装置，其中，包括：一个安装板，其设置于静电夹盘和位于所述静电夹盘下方的多个组件之间，其用于支撑所述静电夹盘并为所述多个组件提供连接接口，其具有一个或多个第一连接孔；一个或多个第一装置，其位于所述安装板下方，其具有一个或多个第二连接孔，所述第一装置是由硬性的不易形变的材料制成；多个固定装置，其设置于所述安装板上表面，将所述固定装置穿过所述第一连接孔和第二连接孔以固定连接所述安装板和所述第一装置。