发明名称 无镉铜铟镓硒薄膜太阳能电池及其硫化锌缓冲层薄膜的制备方法
摘要 一种无镉铜铟镓硒薄膜太阳能电池的制备方法,包括如下步骤:步骤一、在衬底上依次形成背电极和铜铟镓硒光吸收层,形成样片;步骤二、将二水合醋酸锌溶解于无水乙醇中,再加入稳定剂,加热形成溶胶;步骤三、将样片浸入所述溶胶中,浸渍时间为5~10秒,然后将样片从所述溶胶中提起;步骤四、将样片在100~200℃下干燥30分钟,使样片表面形成氧化锌薄膜;步骤五、将样片放入硒化室内在硫化氢的气氛下进行退火处理,将氧化锌薄膜转化为硫化锌缓冲层薄膜;及步骤六、在硫化锌缓冲层薄膜上依次形成阻挡层及窗口层。上述制备方法在退火过程中由于温度较高,因此能够提高薄膜的结晶质量。本发明还提供一种硫化锌缓冲层薄膜的制备方法。
申请公布号 CN102270699A 申请公布日期 2011.12.07
申请号 CN201110202078.8 申请日期 2011.07.18
申请人 中国科学院深圳先进技术研究院 发明人 卢兰兰;刘壮;肖旭东
分类号 H01L31/18(2006.01)I;C03C17/36(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人 吴平
主权项 一种无镉铜铟镓硒薄膜太阳能电池的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤一、在衬底上依次形成背电极和铜铟镓硒光吸收层,形成样片;步骤二、将二水合醋酸锌溶解于无水乙醇中,再加入稳定剂,加热形成溶胶;步骤三、将所述样片浸入所述溶胶中,浸渍时间为5~10秒,然后将所述样片从所述溶胶中提起;步骤四、将所述样片在100~200℃下干燥30分钟,使所述样片表面形成氧化锌薄膜;步骤五、将所述样片放入硒化室内在硫化氢的气氛下进行退火处理,将所述氧化锌薄膜转化为硫化锌缓冲层薄膜;及步骤六、在所述硫化锌缓冲层薄膜上依次形成阻挡层及窗口层,得到所述无镉铜铟镓硒薄膜太阳能电池。
地址 518055 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号