发明名称 |
无镉铜铟镓硒薄膜太阳能电池及其硫化锌缓冲层薄膜的制备方法 |
摘要 |
一种无镉铜铟镓硒薄膜太阳能电池的制备方法,包括如下步骤:步骤一、在衬底上依次形成背电极和铜铟镓硒光吸收层,形成样片;步骤二、将二水合醋酸锌溶解于无水乙醇中,再加入稳定剂,加热形成溶胶;步骤三、将样片浸入所述溶胶中,浸渍时间为5~10秒,然后将样片从所述溶胶中提起;步骤四、将样片在100~200℃下干燥30分钟,使样片表面形成氧化锌薄膜;步骤五、将样片放入硒化室内在硫化氢的气氛下进行退火处理,将氧化锌薄膜转化为硫化锌缓冲层薄膜;及步骤六、在硫化锌缓冲层薄膜上依次形成阻挡层及窗口层。上述制备方法在退火过程中由于温度较高,因此能够提高薄膜的结晶质量。本发明还提供一种硫化锌缓冲层薄膜的制备方法。 |
申请公布号 |
CN102270699A |
申请公布日期 |
2011.12.07 |
申请号 |
CN201110202078.8 |
申请日期 |
2011.07.18 |
申请人 |
中国科学院深圳先进技术研究院 |
发明人 |
卢兰兰;刘壮;肖旭东 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;C03C17/36(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 |
代理人 |
吴平 |
主权项 |
一种无镉铜铟镓硒薄膜太阳能电池的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤一、在衬底上依次形成背电极和铜铟镓硒光吸收层,形成样片;步骤二、将二水合醋酸锌溶解于无水乙醇中,再加入稳定剂,加热形成溶胶;步骤三、将所述样片浸入所述溶胶中,浸渍时间为5~10秒,然后将所述样片从所述溶胶中提起;步骤四、将所述样片在100~200℃下干燥30分钟,使所述样片表面形成氧化锌薄膜;步骤五、将所述样片放入硒化室内在硫化氢的气氛下进行退火处理,将所述氧化锌薄膜转化为硫化锌缓冲层薄膜;及步骤六、在所述硫化锌缓冲层薄膜上依次形成阻挡层及窗口层,得到所述无镉铜铟镓硒薄膜太阳能电池。 |
地址 |
518055 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号 |