| 发明名称 |
A METHOD FOR THE PRODUCTION OF CUBIC BORON NITRIDE-CONTAINING FILMS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP2243857(A4) |
申请公布日期 |
2011.12.07 |
| 申请号 |
EP20090711697 |
申请日期 |
2009.02.17 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C14/34;C01B21/064;C23C14/06 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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