| 发明名称 | 构造尤其用于微光刻投射曝光系统的分面镜的个体反射镜 | ||
| 摘要 | 个体反射镜(112)被用于构造分面镜。个体反射镜(112)的反射镜元件(79)能够绕倾翻铰链(82，83)的至少一个倾翻轴线(w1，w2)相对于刚性支撑元件(81)倾翻。倾翻铰链(82，83)被设计为一体式铰链。该一体式铰链垂直于倾翻轴线(w1，w2)具有铰链厚度S，沿着倾翻轴线(w1，w2)具有铰链长度L，并满足L/S＞50。结果得到用于构造分面镜的个体反射镜，其中所述分面镜能够被复制，能够被精确调节，并且同时通过反射镜主体的散热而确保充分地散失热量，尤其是由对个体反射镜反射的有用辐射的残余吸收所产生的热量。 | ||
| 申请公布号 | CN102272636A | 申请公布日期 | 2011.12.07 |
| 申请号 | CN201080004210.8 | 申请日期 | 2010.01.08 |
| 申请人 | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 | 发明人 | 阿明.沃伯;诺伯特.米尔伯格;弗洛里安.巴赫 |
| 分类号 | G02B5/09(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I;G02B26/08(2006.01)I | 主分类号 | G02B5/09(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 吴艳 |
| 主权项 | 用于构造分面镜(13，14；47；64；67；70)的个体反射镜(139)， 其中所述个体反射镜(21；99；112；126；138)的反射镜主体(79)被构造为能够绕至少一个倾翻轴线而相对于刚性载置器主体(81)倾翻，其特征在于，用于实现绕所述至少一个倾翻轴线的受控倾翻的致动器(119)具有： 移动电极(120)，其可移动地连接到第一铰链体， 对应电极(122)，其刚性地连接到第二铰链体， 其中在所述移动电极(120)和所述对应电极(122)之间布置有电介质层(123)， 其中所述对应电极(122)在接触面部分(124)中通过所述电介质层(123)直接倚靠在所述移动电极(120)上，并且其中，在间隔面部分(125)中，所述对应电极(122)和所述移动电极(120)之间的间隔在所述致动器(119)的未受力状态下连续地增大，所述移动电极(120)用于连接到所述第一铰链体的连接区域(121，129)位于所述间隔面部分(125)中。 | ||
| 地址 | 德国上科亨 | ||