| 发明名称 | 正型抗蚀剂组合物的制备方法、正型抗蚀剂组合物和抗蚀图案形成方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种正型抗蚀剂组合物的制备方法，其中，具有使正型抗蚀剂组合物通过具备尼龙制的膜的过滤器(f1)的工序(I)，所述正型抗蚀剂组合物是将因酸的作用而碱可溶性增大的树脂成分(A)和曝光下产生酸的产酸剂成分(B)溶解于有机溶剂(S)中而成的；所述树脂成分(A)是在使至少一种单体聚合而制造聚合物时通过使酸存在而得到的具有至少2种结构单元的共聚物。通过本发明，可以提供能够形成同时减轻了架桥系缺陷和再析出系缺陷的抗蚀图案的正型抗蚀剂组合物的制备方法、正型抗蚀剂组合物和抗蚀图案形成方法。 | ||
| 申请公布号 | CN101223479B | 申请公布日期 | 2011.12.07 |
| 申请号 | CN200680026355.1 | 申请日期 | 2006.05.18 |
| 申请人 | 东京应化工业株式会社 | 发明人 | 室井雅昭;厚地浩太;中村孝弘;山田雅和;最所贤介 |
| 分类号 | G03F7/039(2006.01)I;G03F7/38(2006.01)I;G03F7/26(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/039(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 朱丹 |
| 主权项 | 一种正型抗蚀剂组合物的制备方法，其中，具有使溶液通过具备尼龙制的膜的过滤器f1的工序I，所述溶液是将酸的作用下碱可溶性增大的树脂成分A和通过曝光产生酸的产酸剂成分B溶解于有机溶剂S中而形成的，所述树脂成分A是在使至少一种单体进行聚合而制造聚合物时使酸存在而得到的至少具有2种结构单元的共聚物，所述单体中的至少一种为(α‑低级烷基)丙烯酸酯，所述树脂成分A在主链上具有从(α‑低级烷基)丙烯酸酯衍生的结构单元a1，所述低级烷基为碳原子数1‑5的烷基。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||