Method of fabricating alternating phase shift mask,申请号KR20090134696-传众专利搜索

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发明名称	Method of fabricating alternating phase shift mask
摘要
申请公布号	KR101090474(B1)	申请公布日期	2011.12.06
申请号	KR20090134696	申请日期	2009.12.30
申请人		发明人
分类号	H01L21/027	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
主权项
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