| 发明名称 |
二氧化钛薄膜的制备方法 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI353388 |
申请公布日期 |
2011.12.01 |
| 申请号 |
TW096134109 |
申请日期 |
2007.09.12 |
| 申请人 |
財團法人紡織產業綜合研究所 新北市土城區承天路6號 |
发明人 |
胡瑞楷;陈宏昌;林文婷 |
| 分类号 |
C23C14/08;C23C14/34;C01G23/047 |
主分类号 |
C23C14/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼 |
| 主权项 |
一种二氧化钛薄膜的制备方法，至少包含：提供一真空腔体，该真空腔体中具有二氧化钛靶材与一晶座，其中该晶座上放置有一塑胶基材；加热该真空腔体，使该真空腔体之温度维持在70到100℃；填充1~10 Pa之一电浆气体到该真空腔体，该电浆气体系由氩气与氧气所组成，其中该氩气与该氧气之流量比为9：1至7：1；以及利用溅镀法形成锐钛矿晶相之二氧化钛层于该塑胶基材上。 |
| 地址 |
新北市土城区承天路6号 |
