一种含氢纳米结构CNx梯度薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种在不锈钢基底上直接沉积含氢纳米结构CNx梯度薄膜的制备方法。该方法利用中频磁控溅射物理气相沉积技术，以不锈钢为基底材料，采用高纯氮气、氩气和甲烷为反应溅射气体，分别镍靶和钛靶的方法制备了四元含氢纳米结构CNx梯度薄膜。

主权项

一种含氢纳米结构CNx梯度薄膜的制备方法，其特征在于该方法包括以下步骤：A将预先清洁后的不锈钢片放入丙酮、乙醇中超声清洗，然后在去离子水中冲洗，吹干，置于真空室；抽真空直到腔内真空度小于3.0×10‑3Pa；B通入Ar气至0.8Pa，基底加脉冲偏压为‑800V，导通比0.8，利用等离子体辉光清洗衬底，以除去表面残留的杂质和污染物；C采用高纯氮气和甲烷为反应溅射气体，溅射镍靶和钛靶制备含氢纳米结构CNx梯度薄膜；N2+Ar流量保持在40sccm，甲烷流量100sccm，沉积气压为0.5Pa，沉积功率为1000W，基底偏压在‑100V，样品盘与靶的距离为140mm，沉积时间为100‑1500min。