发明名称 POLISHING PAD AND PROCESS FOR PRODUCTION OF POLISHING PAD
摘要
申请公布号 EP2123400(A4) 申请公布日期 2011.11.30
申请号 EP20080710720 申请日期 2008.02.01
申请人 KURARAY CO., LTD. 发明人 NAKAYAMA, KIMIO;TAKAOKA, NOBUO;KATO, MITSURU;KIKUCHI, HIROFUMI;TANAKA, JIRO
分类号 B24B37/24;B24D3/32;B24D18/00;H01L21/304 主分类号 B24B37/24
代理机构 代理人
主权项
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