划线装置及划线方法

摘要

本发明的目的在于能够对小尺寸脆性材料基板加工性良好地进行划线。分别利用定位销钉109将多个脆性材料基板107a～107i定位配置在平台106上。将制法数据表针对各个脆性材料基板预先保存。可基于该制法数据表，使脆性材料基板和划线头进行相对移动，对各个基板进行内切划线或者外切划线。如此便可通过自动运行成批地对多片基板实施划线作业。

主权项

一种划线装置，其是为了将形成在脆性材料基板上的功能区域裁断为各个功能区域制成制品基板而进行划线的划线装置，且将所述划线的种类，分为从所述脆性材料基板的一边内侧到其他边内侧为止的内切划线、及从所述脆性材料基板的一边外侧到其他边外侧为止的外切划线，所述划线装置包括：平台，分别定位设置多片所述脆性材料基板；划线头，以对向于所述平台上的脆性材料基板的方式升降自如地设置，且其前端保持划线轮；移动机构，在将所述划线轮按压在所述脆性材料基板的表面上的状态下，使所述划线头以及脆性材料基板进行相对移动；以及控制器，预先保存包含划线的线条和该划线种类且针对各个所述脆性材料基板设定的制法数据表，且基于所述制法数据表，利用所述移动机构，使所述划线头以及脆性材料基板进行相对移动，并且使所述划线头升降，进行和划线种类对应的划线。