一种MEMS麦克风芯片

摘要

本发明公开了一种MEMS麦克风芯片，包括中部设置有孔洞的基底、振膜以及与所述振膜相对设置的固定极板，所述振膜被悬空设置的悬梁结构支撑，所述悬梁结构上设置有加强结构；这种设计的MEMS麦克风芯片，其振膜应力小、灵敏度高，并且产品可靠性好、不会因外力作用而导致振膜的支撑部分损坏。

主权项

一种MEMS麦克风芯片，包括中部设置有孔洞的基底、振膜以及与所述振膜相对设置的固定极板，其特征在于，所述振膜被悬空设置的悬梁结构支撑，所述悬梁结构上设置有加强结构。