| 摘要 |
1. Способ производства распыляемой мишени из сплава на основе тантала высокой чистоты, включающий последовательное глубокое вакуумное рафинирование электронно-лучевым капельным переплавом металлокерамической заготовки высокой чистоты с получением слитка тантала, формирование из него дуговым вакуумным переплавом с одновременным легированием иттрием и железом из их соединений с танталом финишного сплава Ta+1%Fe+0,1%Y (мас.%) в виде поликристаллического слитка и механическую обработку полученной заготовки. ! 2. Сплав на основе тантала высокой чистоты, содержащий тантал, железо и иттрий в соотношении Ta+1%Fe+0,1%Y (мас.%), получают в три этапа: сплавление тантала с железом и иттрий с железом в количественных соотношениях, соответствующих общим химическим формулам TaFe2 и YFe3, сплавление полученных соединений и затем сплавление их с танталом высокой чистоты при следующем соотношении компонентов, мас.%: ! TaFe2 3,0-10,0 YFe3 0,3-3,0 Та Остальное |
