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发明名称
摘要
申请公布号
JP4820507(B2)
申请公布日期
2011.11.24
申请号
JP20010257763
申请日期
2001.08.28
申请人
发明人
分类号
C23C14/34;C22C14/00;H01L21/285
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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